江戸幕府は、中山道の押えとして慶長19年まず当村北方の台地関長原に仮番所を立てたが、元和9年当村西端、南方前面に碓氷川の断崖、北方には山が迫るという地形の場所に碓氷関所を設置した。この碓氷関所の設置に伴い、横川村は交通上の要所となり、人家の散在する1小集落から130余戸の村落へ発展した。